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平面圆形阴极

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产品详情

规格:

2-8英寸或对应公制

冷却方式:直接,间接水冷

磁场强度:普通,强磁

磁场类型:平衡,非平衡

适用电源:DC/Pulsed-DC/MF/RF(RF需说明)

特点

(1)磁铁不泡水,避免磁铁腐蚀退磁;

(2)磁路模块化,方便不同应用随时更换

   (3)手动/气动挡板,角度调节,靶基距调节,防污环等多种配置

功能:

用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积,生产装饰、光学及各类功能膜层

应用范围:

真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜

图片及细节图:



  产品三.png










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