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条形阳极层离子源

产品详情

技术参数

类型

阳极层离子源

有效长度

总长L-200mm

宽度

165mm

最大放电电压

3000V( Pulsed DC )

最大放电电流

>10mA/cm

离子能量

150~1500eV

工作压强

3×10-2~5×10-1Pa

气体流量

0-100sccm

冷却水管

Φ8

工作气体

Ar,O2, N2

冷却水阻抗

50ΚΩ/M

电源功率

6KW

控制方式

Local/Remote

应用领域

预清洗,辅助沉积

安装方式

内/外安装

特点:

极靴直接冷却:保证磁铁性能稳定

磁场优化设计:大大降低离子轰击污染

高均匀性气路设计:提高清洗均匀性

直流脉冲电源驱动:减少电荷累计打火

外围结构优化设计:方便清理维护

优异材料与配件:保证产品品质

功能:

   (1)基片镀膜前表面预清洗,提高膜基结合力

   (2)作为磁控溅射过程中的离子辅助沉积

    (3)   直接沉积DLC膜层

应用范围:

真空镀膜前的基片预清洗和辅助沉积


图片、细节图:


典型测试参数(L长800mm







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