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Gasloop靶电压气体闭环控制器

Gasloop靶电压气体闭环控制器
产品详情

靶电压气体闭环控制器:

功能:针对SiAlZn靶材反应磁控溅射过程,通过对靶电压的闭环控制,稳定溅射电压工作点,沉积速率提升2-5倍量级


适用靶材/工艺:


SiO2Al2O3AlNZnO


特点:

1.中文界面。适应国内工厂习惯,减少出错率

2.直观显示滞回曲线,协助快速选择控制工作点

3.工业级运算芯片,耐环境温度,抗电磁干扰,稳定可靠

4.高性价比。多种版本适应多种应用+节约成本


技术规格

参数

产品型号

   Gasloop

控制信号

   两通道靶电压信号输入(0-10V/ BNC接口

工作模式

   滞回模式、反馈模式、恒流模式三种

气体控制

   每通道分别可接2 MFC气体流量计 (0-5V模拟量输出)

   每通道可设定2通道流量计流量比例

软件界面

   Windows 视窗界面

界面显示

   可以显示靶电压-气体流量滞回曲线

   实时显示靶电压设定值和实际靶电压曲线、

   实时显示气体实际值曲线

   实时显示当日靶电压历史曲线

软件安装要求

   Windows 7 10

通讯接口

   Internet网络通讯

工控接口

   IO控制关启,DB15 公头

重量

   ~1 kg

尺寸

250×250×70 mm

电源

   110/220V AC50/60Hz 接地三脚插头

功耗

   ~100 W


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地址:浙江省杭州市余杭区粮站路11号智能制造创新创业产业园2号楼2楼
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