靶电压气体闭环控制器:
功能：针对Si、Al、Zn靶材反应磁控溅射过程，通过对靶电压的闭环控制，稳定溅射电压工作点，沉积速率提升2-5倍量级
适用靶材/工艺：
SiO2、Al2O3、AlN、ZnO等
特点：
1.中文界面。适应国内工厂习惯，减少出错率
2.直观显示滞回曲线，协助快速选择控制工作点
3.工业级运算芯片，耐环境温度，抗电磁干扰，稳定可靠
4.高性价比。多种版本适应多种应用+节约成本
技术规格 | 参数 |
产品型号 | Gasloop |
控制信号 | 两通道靶电压信号输入（0-10V）/ BNC接口 |
工作模式 | 滞回模式、反馈模式、恒流模式三种 |
气体控制 | 每通道分别可接2 路 MFC气体流量计 （0-5V模拟量输出） 每通道可设定2通道流量计流量比例 |
软件界面 | Windows 视窗界面 |
界面显示 | 可以显示靶电压-气体流量滞回曲线 实时显示靶电压设定值和实际靶电压曲线、 实时显示气体实际值曲线 实时显示当日靶电压历史曲线 |
软件安装要求 | Windows 7 或 10 |
通讯接口 | Internet网络通讯 |
工控接口 | IO控制关启，DB15 公头 |
重量 | ~1 kg |
尺寸 | ～250×250×70 mm |
电源 | 110/220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 |
功耗 | ~100 W |
