平面圆形阴极

规格：

2-8英寸或对应公制

冷却方式：直接，间接水冷

磁场强度：普通，强磁

磁场类型：平衡，非平衡

适用电源：DC/Pulsed-DC/MF/RF(RF需说明)

特点：

（1）磁铁不泡水，避免磁铁腐蚀退磁；

（2）磁路模块化，方便不同应用随时更换

   (3)手动/气动挡板，角度调节，靶基距调节，防污环等多种配置

功能：

用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积，生产装饰、光学及各类功能膜层

应用范围：

真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜

图片及细节图：