平面条形阴极

规格：

靶材宽度50mm,70,80,90,100,110,120,135,150,200mm

冷却方式：直接，间接冷却

磁场强度：普通，强磁

磁场类型：平衡，非平衡，高利用率，高溅射速率

适用电源：DC/Pulsed-DC/MF/RF(RF需说明)

特点：

1.高靶材利用率>40%，大大降低靶材费用
2.宽靶面刻蚀，减少靶面打火
3.磁钢不泡水，长阴极寿命
4.优化阴极冷却系统，最高使用温度可达到450℃
5.阴极冷却主动报警装置，降低阴极烧毁风险
6.可开发定制，提供阴极2D/3D图纸，方便设计人员选型

功能：

用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积，生产装饰、光学及各类功能膜层

应用范围：

真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜

图片、细节图：

以下溅射后靶材效果，全为我厂测试后实拍

本产品刻蚀图