阳极层离子源（条形，圆形）

技术参数：

特点:

极靴直接冷却：保证磁铁性能稳定

磁场优化设计：大大降低离子轰击污染

高均匀性气路设计：提高清洗均匀性

直流脉冲电源驱动：减少电荷累计打火

外围结构优化设计：方便清理维护

优异材料与配件：保证产品品质

功能：

   （1）基片镀膜前表面预清洗，提高膜基结合力

   （2）作为磁控溅射过程中的离子辅助沉积

    (3)   直接沉积DLC膜层

应用范围：

真空镀膜前的基片预清洗和辅助沉积

图片、细节图：

典型测试参数（L长800mm）