ICP等离子体源

产品详情

依据ICP+CCP原理，通过13.56MHz射频电源进行等离子体激发，独特

的环绕激发方式极大程度提高离化率，提升使用效果。

核心特点：

u线圈在大气侧：有效降低污染

u单线圈激发：降低射频干扰

u环绕激发：大幅提高离化率

u可选栅网设计：提高离子能量

u牢固结构设计：离子源可达2米以上

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