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圆柱旋转阴极

产品详情

规格:

靶材外径:70mm, 100mm, 152mm

安装方式:背包外装式,插入侧装

磁场发散角:标准,较小

磁场强度:普通,强

特点:

端头部分:

            端头内部绝缘处理,外露件不导电;

            端头绝缘采用进口PEEK材质,保证端头强度与绝缘性能;

            端头采用大电流电刷,保证阴极大电流稳定工作;

            接线电缆直接与电刷连接,提高导电效果;

            端头密封轴喷涂超高硬度涂层,超长密封寿命;

            进口定制油封,大大延长油封寿命;

磁棒部分:

            磁钢自身多重涂层防护;

            磁钢与水隔离,根源上杜绝失效风险;

            高靶材利用率:70%-80%

            多重检测,磁场均匀性优于+/-2%

            磁场均匀性可调节,400-1500Gauss

            磁场强度可根据要求定制:300-1000Gs

            磁场发散角小:更多靶材沉积到基片上。

功能:

用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积,生产装饰、光学及各类功能膜层

应用范围:

真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜


图片、细节图:



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