规格:
靶材外径:70mm, 100mm, 152mm
安装方式:背包外装式,插入侧装式
磁场发散角:标准,较小
磁场强度:普通,强
特点:
端头部分:
• 端头内部绝缘处理,外露件不导电;
• 端头绝缘采用进口PEEK材质,保证端头强度与绝缘性能;
• 端头采用大电流电刷,保证阴极大电流稳定工作;
• 接线电缆直接与电刷连接,提高导电效果;
• 端头密封轴喷涂超高硬度涂层,超长密封寿命;
• 进口定制油封,大大延长油封寿命;
磁棒部分:
• 磁钢自身多重涂层防护;
• 磁钢与水隔离,根源上杜绝失效风险;
• 高靶材利用率:70%-80%;
• 多重检测,磁场均匀性优于+/-2%;
• 磁场均匀性可调节,400-1500Gauss
• 磁场强度可根据要求定制:300-1000Gs;
• 磁场发散角小:更多靶材沉积到基片上。
功能:
用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积,生产装饰、光学及各类功能膜层
应用范围:
真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜
图片、细节图: