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产品功能：
•平面阴极的阳极
•旋转阴极与阳极磁场闭合+偏压
•闭合磁场+电场，捕捉电子
•束缚电子轨迹，提升离化率
•提升膜层致密性+降低内应力
•有效降低基片温升
•直流脉冲电源，提升稳定性
产品效果：
